Untersuchung des selektiven Wolfram-CVD-Prozesses zur Viafüllung

von Schulz, Stefan E.
Veröffentlicht 1997

Materials for Advanced Metallization 2014 : [... MAM 2014 ... 23rd European Workshop on ... was held in Chemnitz, Germany ...from March 2 - 5, 2014 ... 30 papers]

Veröffentlicht 2015

Untersuchung des selektiven Wolfram-CVD-Prozesses zur Viafüllung

von Schulz, Stefan E.
Veröffentlicht 1997

Proceedings of the Twelth European Workshop on Materials for Advanced Metallization 2008, March 2 - 5, 2008, Dresden, Germany : MAM2008, a single-session workshop devoted to mate...

Veröffentlicht 2008

Selected papers from the 20th European Workshop on Materials for Advanced Metallization 2011 (held together with the International Interconnect Technology Conference IITC 2011) ; [...

Veröffentlicht 2013

Ultradünne nanostrukturierte Diffusionsbarrieren : gemeinsamer Abschlußbericht zum Verbundprojekt

von Ecke, Romona
Veröffentlicht 2004

Mikro- und Nanotechnologien für Smart Integrated Systems

Veröffentlicht in Industrie-Management (2010)

Growth monitoring of ultrathin copper and copper oxide films deposited by atomic layer deposition : = Untersuchungen zum Wachstum ultradünner Kupfer- und Kupferoxid Schichten mit...

von Dhakal, Dileep
Veröffentlicht 2016

Verbundvorhaben Fortschrittliche Kupfer-Metallisierungssysteme (FOKUM), Teilvorhaben: Prozess- und Verfahrensentwicklung für die Höchstintegration : Berichtszeitraum: 01.07.1997...

Veröffentlicht 2001

Kompetenznetzwerk für Nanosystemintegration : Anwendung von Nanotechnologien für energieeffiziente Sensorsysteme : zu den Teilvorhaben: LPA - Entwicklung neuartiger magnetoresist...

von Schulz, Stefan E.
Veröffentlicht 2014

Photonische Komponenten für MEMS und Sensoren : Tagungsband zum Workshop : 17./18. Oktober 2018 - Regensburg

Veröffentlicht 172018