Untersuchungen zur Gestaltung integrierter Mehrkoordinatenantriebe

von Schäffel, Christoph
Veröffentlicht 1997

Entwicklung und Erprobung eines vertikalen Wafertischs für die Ionen-Projektions-Lithografie (IPL) : Abschlußbericht

von Saffert, Eugen
Veröffentlicht 2002

Integrierte Mehrkoordinatenmeßsysteme für Planarmotoren

von Löwe, Bernhard
Veröffentlicht in Tendenzen in der Entwicklung, Konstruktion und Anwendung der Feinwerktechnik und Mikrotechnik (1993)

Entwicklung und Erprobung eines vertikalen Wafertischs für die Ionen-Projektions-Lithografie (IPL) : Abschlußbericht

von Schäffel, Christoph
Veröffentlicht 2001

Elektrodynamische Linear- und Mehrkoorinatenantriebe

von Schinköthe, Wolfgang
Veröffentlicht in Handbuch elektrische Kleinantriebe (2011)

Zur Gestaltung integrierter mechatronischer Produkte

Veröffentlicht in Mechatronik im Maschinen- und Fahrzeugbau (1997)

Planar magnetic drives and bearings for multi-axis nanopositioning machines with large travel ranges

von Sattel, Thomas
Veröffentlicht in Actuator 10 (2010)

Ein Beitrag zur Modellbildung und Steuerung der Nanopositionier- und Nanomessmaschine 200

von Meister, Andreas
Veröffentlicht 2020