Channeling Study of Proton Irradiation Damage in 3C-SiC

von Nashiyama, I.
Veröffentlicht 1988

REACTIVE ION ETCHING OF A1, SiO2 AND POLY - SILICON

von Lida, S.
Veröffentlicht in Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu (22. : 1982 : Tokio) Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Dai 22kai Shinpojiumu kōen ronbunshū (1982)