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  2. 2
    von Reichmann, Markus
    Veröffentlicht 2011
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  3. 3
    Entwicklung einer ressourceneffizienten Trocknungstechnologie für keramische Produkte (Dry-Control), TP4: Mikrowellensystemtechnik : Schlussbericht ; Berichtszeitraum: 01.07.2009 - 30.06.2013
    von Reichmann, Markus
    Veröffentlicht 2013
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  4. 4
    Vorhabensbezeichnung: Innovative Fehleranalytik für hoch integrierte Elektroniksysteme - SAM³, Teilvorhaben: Plasmasystem zum Trockenätzen von neuartigen SiC/GaN Halbleiterbauelementen : Schlussbericht nach Nr. 8.2. NKBF 98 : Laufzeit des Vorhabens: 01.10.2015-30.09.2018, kostenneutrale Verlängerung bis 31.12.2018 : Berichtszeitraum: 01.10.2015-31.12.2018 = Smart Analysis Methods for 3D Integration in Advanced Microsystems and Corresponding Materials, Acronym: SAM³ : subproject: Plasma Etch Equipment for Die Preparation of New Semiconductor Substrate Materials
    von Schneider, Joachim
    Veröffentlicht 2019
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