Mikrostrukturierungstechniken zur Herstellung von MEMS aus Halbleitern großer Bandlücke

von Niebelschütz, Florentina
Veröffentlicht 2010

Fully unstrained GaN on sacrificial AlN layers by nano-heteroepitaxy

Veröffentlicht in Physica status solidi / C (2007)

Piezoelectric actuation of all-nitride MEMS

Veröffentlicht in Physica status solidi / C (2008)

Electric field distribution in GaN/AlGaN/GaN heterostructures with two-dimensional electron and hole gas

Veröffentlicht in Applied physics letters (2008)

Characterization of GaN-based lateral polarity heterostructures

Veröffentlicht in Physica status solidi / C (2008)

AlGaN/GaN-based MEMS with two-dimensional electron gas for novel sensor applications

Veröffentlicht in Physica status solidi / C (2008)

AlGaN/GaN based heterostructures for MEMS and NEMS applications

Veröffentlicht in Nanostructured materials, thin films and hard coatings for advanced applications (2010)

Two-dimensional electron gas based actuation of piezoelectric AlGaN/GaN microelectromechanical resonators

Veröffentlicht in Applied physics letters (2008)