Magnetic Field Distribution Design in ECR Etching System

von Nakamura, T. Ishida. T.
Veröffentlicht in Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu (41. : 1991 : Tokio) Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Dai 41kai Shinpojiumu (1991)