Enhanced Diffusion of Low-Concbentration Phosphorus, Arsenic and Boron in Silicon during IR - Heating

von Ishikawa, Y.
Veröffentlicht in Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu (37. : 1989 : Tokio) Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Dai 37kai Shinpojiumu (1989)

THE DIFFUSION OF BISMUTH INTO SILICON FROM SPIN-ON SOURCE

von Yazaki, K.
Veröffentlicht in Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu (35. : 1988 : Tokio) Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Dai 35kai Shinpojiumu (1988)

Low-Temperature Thermal Oxidation of Silicon by UV-Irradiation

von Uchihara, T.
Veröffentlicht in Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu (38. : 1990 : Tokio) Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Dai 38kai Shinpojiumu (1990)