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    Advanced interconnects and contact materials and processes for future integrated circuits : symposium held April 13 - 16, 1998, San Francisco, California, U.S.A.
    Veröffentlicht 1998
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  2. 2
    Silicides for VLSI applications
    von Murarka, Shyam P.
    Veröffentlicht 1983
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  3. 3
    Advanced interconnects and contact materials and processes for future integrated circuits : symposium held April 13 - 16, 1998, San Francisco, California, U.S.A.
    Veröffentlicht 1998
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  4. 4
    Metallization : theory and practice for VLSI and ULSI
    von Murarka, Shyam P.
    Veröffentlicht 1993
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  5. 5
    Interlayer dielectrics for semiconductor technologies
    von Murarka, Shyam P.
    Veröffentlicht 2003
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  6. 6
    Interface control of electrical, chemical, and mechanical properties : symposium held November 29 - December 3, 1993, Boston, Massachusetts, U.S.A.
    Veröffentlicht 1994
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  7. 7
    Advanced metallization for devices and circuits - science, technology and manufacturability : symposium held April 4 - 8, 1994, San Francisco, California, USA
    Veröffentlicht 1994
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  8. 8
    Electronic materials : science and technology
    von Murarka, Shyam P.
    Veröffentlicht 1989
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  9. 9
    von Steigerwald, Joseph M.
    Veröffentlicht 2004
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  10. 10
    Copper-fundamental mechanisms for microelectronic applications
    von Murarka, Shyam P.
    Veröffentlicht 2000
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  11. 11
    Chemical mechanical planarization of microelectronic materials
    von Steigerwald, Joseph M.
    Veröffentlicht 1997
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  12. 12
    Chemical mechanical planarization of microelectronic materials
    von Steigerwald, Joseph M.
    Veröffentlicht 1997
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