Laser-Enhanced Photochemical Dry Etching of Polyerystalline Silicon Films in

von Mochizuki, Y.
Veröffentlicht in Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu (34. : 1988 : Tokio) Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Dai 34kai Shinpojiumu (1987)

A Low Power and High Speed HfSiO CMOS FET with Dual Poly-Si Gate Electrodes

von Iwamoto, T.
Veröffentlicht in Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (65 : 2003 : Tokio) Handōtai, Shuseki-Kairo-Gijutsu-65.-Shinpojiumu-kōen-ronbunshū (2003)