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High Dielectric Constant (Ba, Sr)TiOs Thin Films for DRAM Application

von Miyasaka, Y.
Veröffentlicht in Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu (43. : 1992 : Tokio) Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Dai 43kai Shinpojiumu (1992)

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2

Low Temperature Recovery for H2-annealed Ru/(Ba, Sr)TiO3/Ru Thin Film Capacitors

von lizuka, T.
Veröffentlicht in Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (58 : 2000 : Tokio) 58.-Handōtai-Shuseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu-kōen-ronbunshū (2000)

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3

ECR Plasma CVD-(Ba, Sr)TiO3 Capacitor Films for Giga-Bit DRAMs

von Yoshida, M.
Veröffentlicht in Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (51 : 1996 : Tokio) 51. Handōtai Shuseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu Kōen Ronbunshū (1996)

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