Physics and Applications on Z-Pinches : research meeting, Nagoya, December 11 - 12, 1992

Veröffentlicht 1993

In-Situ Stress Measurement of Sputtered and Chemical Vapor Deposition Tungsten Silicide Films

von Hara, T.
Veröffentlicht in Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu (38. : 1990 : Tokio) Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Dai 38kai Shinpojiumu (1990)

Deposition of TiN/Ti Films Using ECR Plasma CVD and Application to Si Contact

von Kawashima, A.
Veröffentlicht in Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (49 : 1995 : Tokio) 49. Handōtai Shuseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu Kōen Ronbunshū (1995)

Characterization of The Electrical and Chemical Structure of a HfSiON Film

von Yamamoto, T.
Veröffentlicht in Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (68 : 2005 : Kyōto) Handōtai, Shuseki-Kairo-Gijutsu-68.-Shinpojiumu-kōen-ronbunshū (2005)