Innere Spannungen und Relaxationseffekte in metallischen Leitbahnen mikroelektronischer Bauelemente

von Schreiber, J.
Veröffentlicht in ZfP als Dienstleistung in einer veränderten Industriestruktur ; 1: Vorträge (1997)

3D-Analyse von Eigenspannungen in einkristallinen Halbleiterwafern mittels Infrarot-Raster-Polariskopie und hochaufgelöster Röntgenbeugung

von Herms, M.
Veröffentlicht in ZfP im Übergang zum 3. Jahrtausend ; 1: Bd. 1 (2000)