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    Fundamental principles of optical lithography : the science of microfabrication
    von Mack, Chris
    Veröffentlicht 2007
    Inhaltsverzeichnis
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    Field guide to optical lithography
    von Mack, Chris
    Veröffentlicht 2006
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  3. 3
    Fundamental principles of optical lithography : the science of microfabrication
    von Mack, Chris A.
    Veröffentlicht 2012
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  4. 4
    How to write a good scientific paper
    von Mack, Chris A.
    Veröffentlicht 2018
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  5. 5
    Fundamental principles of optical lithography : the science of microfabrication
    von Mack, Chris A.
    Veröffentlicht 2008
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  6. 6
    Lithography for semiconductor manufacturing II : 30 May - 1 June 2001, Edinburgh, UK
    Veröffentlicht 2001
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  7. 7
    Microlithographic techniques in IC fabrication II : 28 - 30 November 2000, Singapore
    Veröffentlicht 2000
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  8. 8
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  9. 9
    Lithography for semiconductor manufacturing : 19 - 21 May 1999, Edinburgh, Scotland
    Veröffentlicht 1999
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