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Impact of in Situ Postnitridation Annealing for Fabrication of HfSiON Thin Film

von Horii, S.
Veröffentlicht in Handōtai, Shuseki-Kairo-Gijutsu-71.-Shinpojiumu-kōen-ronbunshū (2007)

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2

Reseach of In-situ Cleaning Gas Chemistry of Hf-base High-k Film

von Shibata, T.
Veröffentlicht in Handōtai, Shuseki-Kairo-Gijutsu-71.-Shinpojiumu-kōen-ronbunshū (2007)

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