Strukturbildung beim Mikro-Sandstrahlen mit Maskierung

Veröffentlicht in Technische Universität Ilmenau. Fakultät für Maschinenbau Tagungsunterlagen (2005)

Strukturbildung beim Mikro-Sandstrahlen mit Maskierung

Veröffentlicht in Mechanical engineering from macro to nano (2005)

Variation von nanostrukturiertem Silicium aus DRIE-Tiefenätzprozessen zur Integration in Si-basierte MEMS

Veröffentlicht in Mikro-Nano-Integration (2009)

Zuverlässigkeitsaspekte bei Nanoklettverschlüssen

Veröffentlicht in Mikro-Nano-Integration (2009)

Klebe- und klemmfreies Anschlusskonzept für mikrofluidische Systeme mittels nanostrukturierter Oberflächen

Veröffentlicht in Mikro-Nano-Integration (2009)

Chemical modification and radiation induced degradation of the photoresist SU-8

Veröffentlicht in Deutsche Physikalische Gesellschaft 72nd annual meeting and DPG spring meeting of the Condensed Matter Section and the divisions: Physics Education, History of Physics, Radiation and Medical Physics as well as the working groups: Equal Opportunities, Industry and Business, Information, Physics and Disarmament, Physics of Socio-Economic Systems, Young DPG (2008)

Impact of device processing on the surface properties and the biocompatibility of AlGaN/GaN HEMT sensors

Veröffentlicht in Information technology and electrical engineering - devices and systems, materials and technologies for the future (2006)