Effects of Fluorine on the Si-SiO: Interface Characteristics

von Koshizuka, M.
Veröffentlicht in Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu (42. : 1992 : Tokio) Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Dai 42kai Shinpojiumu (1991)