Mesoscopic Structure of Porous Low-Dielectric-Constant Thin Films

von Kondoh, E.
Veröffentlicht in Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (62 : 2002 : Tokio) Handōtai, Shuseki-Kairo-Gijutsu-62.-Shinpojiumu-kōen-ronbunshū (2002)

Metallization in Supercritical Fluids

von Kondoh, E.
Veröffentlicht in Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (65 : 2003 : Tokio) Handōtai, Shuseki-Kairo-Gijutsu-65.-Shinpojiumu-kōen-ronbunshū (2003)

Advanced interconnects for micro- and nanoelectronics: materials, processes and reliability : April 1 - 5, 2013, San Francisco, California, USA ; [Symposium AA: Advanced Intercon...

Veröffentlicht 2013

Maikurokapuseru

Veröffentlicht 1984

Hydrosilylation of High Porosity Porous Silicon with 1-Hexene in Supercritical CO2 Fluid

von Takura, N.
Veröffentlicht in Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid State Science (2020 : Online) (9.) Pits and Pores 9: Nanomaterials - Fabrication, Properties, and Applications (2020)

Realization of Direct-contact Via Plug by Use of Selective AlI-CVD

von Yamamoto, H.
Veröffentlicht in Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu (44. : 1993 : Tokio) Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Dai 44kai Shinpojiumu (1993)