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    Lithographic and micromachining techniques for optical component fabrication II : 3 - 4 August 2003, San Diego, California, USA
    Veröffentlicht 2003
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  2. 2
    Verbundprojekt: Neue Herstellungsverfahren für tageslichttaugliche Bildschirmhologramme : Teilprojekt: Design und Technologieentwicklung für holographietaugliche Strahlformungselemente ; Schlussbericht
    von Kley, Ernst Bernhard
    Veröffentlicht 2007
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  3. 3
    Verbundprojekt: Compact Optohybrids (CoOp) : Hybride Integrationstechnologie für kompakte, funktionale und fertigungstaugliche optische Module - CoOp ; Teilvorhaben: 3D-Lithographie ; Berichtszeitraum: 01.01.2003 - 30.09.2005
    von Käsebier, Thomas
    Veröffentlicht 2006
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  4. 4
    Strukturierung für integriert-optische Anwendungen : Schlußbericht ; Bewilligungszeitraum: 01.01.1991 - 31.12.1991 ; (Anschlußthema an die MFT-Bewilligung 30 I 20150 "Nanometerlithografie mit Elektronenstrahlen" im Zeitraum Juli Dezember 1990)
    von Kley, Ernst-Bernhard
    Veröffentlicht 1992
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  5. 5
    Abschlussbericht zum Teilvorhaben: Mikrostrukturierte Filter im Verbundprojekt: Optische Mikrosysteme für ultrakompakte hyperspektrale Sensorik - OpMiSen : Laufzeit des Vorhabens: 01.08.2011 - 31.07.2014
    Veröffentlicht 2014
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  6. 6
    Entwicklung und Untersuchung der Mikrometer- und Submikrometerstrukturierung von Schichten für HTSL-Bauelemente : [Abschlußbericht] ; [Bewilligungszeitraum: 01.01.91-31.12.1992] ; [Verbundprojekt: SQUID's aus HTSL]
    Veröffentlicht 1993
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  7. 7
    Lithographic and micromachining techniques for optical component fabrication : 29 -30 July 2001, San Diego, USA
    Veröffentlicht 2001
    Inhaltsverzeichnis
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  8. 8
    Verbundname: Integrierte Nanooptik (NanoInt), Teilprojekt: Wissenschaftlich-technologische Grundlagen : Schlussbericht : Laufzeit des Vorhabens: 01.04.2014-31.03.2017
    von Siefke, Thomas
    Veröffentlicht 2017
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  9. 9
    Selbstadaptierende intelligente Multiaperturkamera-Module (SITARA), Teilprojekt: Funktionale Nanostrukturen : Schlussbericht : Laufzeit des Vorhabens: 01.07.2013-30.06.2016 = Self-adapting intelligent multiaperture camera modules (SITARA), subproject: Functional nanostructures
    von Steglich, Martin
    Veröffentlicht 2016
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  10. 10
    Wachstumskern fo+ : Verbundprojekt 1: "Untersuchung ultrapräziser Freiformsysteme" : Teilprojekt 4 - 'FSU-IAP' : Sachbericht : Berichtslaufzeit: 01.01.2014-31.12.2016
    von Gross, Herbert
    Veröffentlicht 2017
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