Properties of Ta2 O5 Capacıtor Deposited on Ru Electrode Electric

von Kishiro, K.
Veröffentlicht in Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (54 : 1998 : Tokio) 54. Handōtai Shuseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu Kōen Ronbunshū (1998)