Dry process : special issue

Veröffentlicht 2018

Mechanisms of Thermal Atomic Layer Etching (ALE) of Nickel by Acetylacetone (acacH) Molecules

von Basher, Abdulrahman H.
Veröffentlicht in Society of Vacuum Coaters (64. : 2021 : Online) 64th Annual Technical Conference proceedings (2021)