Microstructure of Cu Interconnect Lines

von Okabayashi, H.
Veröffentlicht in Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (59 : 2000 : Tokio) Handōtai, Shuseki-Kairo-Gijutsu-59.-Shinpojiumu-kōen-ronbunshū (2000)