A 0.35 µ m Shallow SIMOX/CMOS Process Integration

von Urabe, S.
Veröffentlicht in Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (52 : 1997 : Osaka) 52. Handōtai Shuseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu Kōen Ronbunshū (1997)