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Development of Magnetically Levitated Molecular Drag Pump

von NONAKA, Manabu
Veröffentlicht in Chō-LSI-Urutora-Kurīn-Tekunorojī-Shinpojiumu (33 : 1999 : Tokio) Cho-LSI-Urutora-Kurin-Tekunoroji-Shinpojiumu (1999)

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