Ultra Clean Technology for Sub-half Micron Devices - Contamination Control in Molecular Size

von Fukumoto, T.
Veröffentlicht in Earozoru Kagaku, Gijutsu Kenkyū Tōronkai (8. : 1991 : Tokio) Dai 8kai Earozoru Kagaku, Gijutsu Kenkyū Tōronkai (1991)

X-RAY LITHOGRAPHY WITH A NEGATIVE RESIST

von Suzuki, Y.
Veröffentlicht in Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu (30. : 1986 : Tokio) Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Dai 30kai Shinpojiumu (1986)