Novel Low-Dielectrie-Constant Inter Layer Dielectrics

von Kuroki, M.
Veröffentlicht in Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (54 : 1998 : Tokio) 54. Handōtai Shuseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu Kōen Ronbunshū (1998)