Platinum hotplate on thermoisolated polyimide membrane as perspective device used in MEMS

von Predanocy, Martin
Veröffentlicht in Applied Physics of Condensed Matter (Veranstaltung : 26. : 2021 : Štrbské Pleso) Applied physics of condensed matter (APCOM 2021) (2021)

Determination of trace heavy metals by anodic stripping voltammetry at mercury-plated silicon microelectrodes

Veröffentlicht in Information technology and electrical engineering - devices and systems, materials and technologies for the future (2006)

TiO2 sensoric structures with controlled extension of their active area by electron-beam lidhography and reactive ion etching techniques

von Nemec, Pavol
Veröffentlicht in Applied Physics of Condensed Matter (Veranstaltung : 26. : 2021 : Štrbské Pleso) Applied physics of condensed matter (APCOM 2021) (2021)

Hydrogen microsensors based on NiO modified thin films

Veröffentlicht in Mechanical engineering from macro to nano (2005)

Hydrogen microsensors based on NiO modified thin films

Veröffentlicht in Technische Universität Ilmenau. Fakultät für Maschinenbau Tagungsunterlagen (2005)

Sensing of micrograppers

Veröffentlicht in Maschinenbau im Informationszeitalter ; Bd. 2: [Vortragsreihen (1999)

Fabrication and characterization of a microheater on GaAs for gas sensors

Veröffentlicht in Information technology and electrical engineering - devices and systems, materials and technologies for the future (2006)

Herstellung spannungsarmer SI3N4-Membranen für Anwendungen in der Mikrotechnik

Veröffentlicht in Tendenzen in der Entwicklung, Konstruktion und Anwendung der Feinwerktechnik und Mikrotechnik (1993)