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Low Pressure and Low Temperature MO-CVD of TiN Thin Film

von Kim, So Won
Veröffentlicht in Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (48 : 1995 : Tokio) 48. Handōtai Shuseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu Kōen Ronbunshū (1995)

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2

Ferroelectric Sputtered PZT Thin Film by High Temperature Deposition Technology

von Ishihara, K.
Veröffentlicht in Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu (43. : 1992 : Tokio) Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Dai 43kai Shinpojiumu (1992)

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