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A TEMPERATURE CONTROLLER FOR AN ELECTRON BEAM TESTER - DEVELOPMENT AND APPLICATION TO LSI FAILURE ANALYSIS

von HOSOI, Hiroyuki
Veröffentlicht in Symposium on Reliability and Maintainability (17. : 1987 : Tokio) 17th Symposium on Reliability and Maintainability (1987)

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2

Voltage Contrast Measurement of Passivated LSIS by Slectron Beam Tester

von Hosoi, Hiroyuki
Veröffentlicht in Symposium on Reliability and Maintainability (16. : 1986 : Tokio) 16th Symposium on Reliability and Maintainability (1986)

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3

Activity for Failure Analysis Ability Improvement as AN LSI Manufacturer - Focusing on the Detection of Failed Parts on LSI Chips

von Nikawa, Kiyoshi
Veröffentlicht in Symposium on Reliability and Maintainability (16. : 1986 : Tokio) 16th Symposium on Reliability and Maintainability (1986)

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