AN IMPROVED LOCOS TECHNOLOGY USING THIN OXIDE AND POLYSILICON BUFFER LAYERS

von Hoshi, N.
Veröffentlicht in Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu (27. : 1984 : Tokio) Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Dai 27kai Shinpojiumu (1984)