Technical concept of a new SEM/FIB CrossBeam tool-combining an ultrahigh resolution field emission SEM and a high resolution FIB

von Gnauck, P.
Veröffentlicht in Fortschritte in der Metallographie (2003)

GHz-SAM for Warped Samples using HiSA

von Hollerith, C.
Veröffentlicht in International Symposium for Testing and Failure Analysis (45. : 2019 : Portland, Or.) ISTFA 2019 (2019)