Verfasser Suchresultate :: Subito Katalog

1

Electromigration under Pulsed Current Stress

von Furusawa, T.
Veröffentlicht in Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu (41. : 1991 : Tokio) Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Dai 41kai Shinpojiumu (1991)

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2

New Dielectric Barrier for Damascene Interconnection : Trimethoxysilane-based SiO2 Film with k=3.9

von Takeda, K.
Veröffentlicht in Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (62 : 2002 : Tokio) Handōtai, Shuseki-Kairo-Gijutsu-62.-Shinpojiumu-kōen-ronbunshū (2002)

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3

Electrochemical Corrosion of Copper Damascene Interconnection Process

von Homma, Y.
Veröffentlicht in Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (58 : 2000 : Tokio) 58.-Handōtai-Shuseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu-kōen-ronbunshū (2000)

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4

Process Design for Dual-Damascene Copper Interconnects with High Reliability

von Oshima, T.
Veröffentlicht in Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (60 : 2001 : Osaka) Handōtai, Shuseki-Kairo-Gijutsu-60.-Shinpojiumu-kōen-ronbunshū (2001)

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