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    Selektive Wolfram-CVD auf Aluminium : Abschlußbericht zum Projekt ; [Berichtszeitraum: 01.05.1991 bis 30.06.1994]
    Veröffentlicht 1994
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  2. 2
    Analyse zu zukünftigen Leitbahnsystemen und zum Packaging in der Silizium-Mikroelektronik : ANAPAC ; Abschlussbericht 12/2003 ; Berichtszeitraum: 01.01.2002 bis 31.12.2003
    Veröffentlicht 2004
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  3. 3
    Verbundprojekt: "Equipment zur Herstellung nanoporöser SiO 2-Schichten als low-k Dielektrikum für high performance ICs", Teilvorhaben der TU Chemnitz: Verfahrensentwicklung und -optimierung
    Veröffentlicht 2003
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  4. 4
    Qualifizierung zur Dienstleistung für kleine und mittlere Unternehmen : Teilvorhaben: Dienstleistungsangebot mit den Schwerpunkten: Sensoren, Signalverarbeitung und Aktoren für Mikromechanik, Chemie und Medizin ; Abschlußbericht, Bewilligungszeitraum: 01.10.1991 - 30.09.1995 (kostenneutrale Verlängerung: 01.10.-31.12.95)
    Veröffentlicht 1996
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  5. 5
    Abschlußbericht KINSENS, Berichtsteil TU Chemnitz : Verbundprojekt: Mikromechanik mit integrierter Elektronik für kinetische Sensoren ; Teilvorhaben: B-Messer- und Mikrokreiselpräparation und Verbindungstechnologie zum ASIC ; Berichtszeitraum: 1.1.1997 - 31.12.1997
    Veröffentlicht 1998
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  6. 6
    BMBF-Verbundprojekt Technologien der Mikrosystemtechnik für die Sicherheit im Fahrzeug SIFA - MST : Schlußbericht zum Teilvorhaben: Mikromechanik der Teilprojekte Sensor-Integration und Schneller Anzünder ; Laufzeit: 01.01.1995 - 31.12.1998
    Veröffentlicht 1999
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  7. 7
    Advanced materials for interconnections : proceedings of Symposium J on Advanced Materials for Interconnections of the 1996 E-MRS Spring Conference, Strasbourg, France, June 4-7, 1996
    Veröffentlicht 1997
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  8. 8
    Advanced interconnection technology (ADIT) : Schlußbericht zum Vorhaben ; [Verbundvorhaben ; Bewilligungszeitraum und Berichtszeitraum: 01.07.1993 bis 30.09.1997]
    Veröffentlicht 1998
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  9. 9
    Mikromechanik für kinetische Sensoren : Abschlußbericht zum Verbundprojekt ; Berichtsteil der TU Chemnitz-Zwickau ; [Laufzeit: 1.1.1992 - 31.12.1994]
    Veröffentlicht 1995
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  10. 10
    Verbundvorhaben Fortschrittliche Kupfer-Metallisierungssysteme (FOKUM), Teilvorhaben: Prozess- und Verfahrensentwicklung für die Höchstintegration : Berichtszeitraum: 01.07.1997 bis 31.03.2000
    Veröffentlicht 2001
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  11. 11
    Waferbonding Technologies for 3D-Integration
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  12. 12
    Smart System Integration Technologies for Lightweight Structures
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  13. 13
    Veröffentlicht 1997
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  14. 14
    Functional Nano Patterns realized by aligned Nano Imprint Lithography
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  15. 15
    Pulsed Jet Actuator development for the integration in composite structures
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  16. 16
    Integration concepts for fluidic actuators in hybrid structures
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  17. 17
    Structural health monitoring with quantum dots
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