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CHARACTERIZATION OF SILICON NITRIDE FILMS BY USINIG ECR PLASMA - ENHANCED CHEMICAL VAPAR DEPOSITION

von Doki, M.
Veröffentlicht in Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu (31. : 1986 : Tokio) Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Dai 31kai Shinpojiumu (1986)

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