Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung
Das Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (Fraunhofer IPA) ist eine Einrichtung der Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. (FhG) und hat seinen Sitz in Stuttgart. Seine Aktivitäten sind der angewandten Forschung und Entwicklung in den Fächern Ingenieurwissenschaften, Informatik, Naturwissenschaften und Strukturwissenschaften zuzuordnen. Veröffentlicht in Wikipedia
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2Veröffentlicht 2009UnknownFormat
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16Veröffentlicht in Gentischer, Josef Neue Verfahren zum chemisch-mechanischen Reinigen von Einzelwafern für Sub-100-mm-Technologie - CMC Cleaner (2005)UnknownFormat
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19Veröffentlicht 2010UnknownFormat
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20Veröffentlicht 2008UnknownFormat