Aufbau- und Verbindungstechniken für Faseroptische Sensoren : AVT - FIOS ; Abschlußbericht zum Projekt

Veröffentlicht 1993

Entwicklung von Bausteinen für hochintegrierte statische Speicher : Abschlußbericht ; Berichtszeitraum: 1.7.1984 - 1.7.1988 ; Contract NT-2686-G-8

Veröffentlicht 1988

Aktoren aus mikrostrukturiertem Silizium für pneumatische und hydraulische Anwendungen : Abschlußbericht zum Verbundprojekt ; Berichtszeitraum: 1.1.1989 - 31.12.1991

Veröffentlicht 1991

Entwicklung der Grundlagen für Trockenätzprozesse mit dem Ziel einer Auflösung unter 0,5 [my]m : Abschlußbericht ; Berichtszeitraum: 1.5.1985 - 31.12.1987 ; Contract NT-2686-Q...

Veröffentlicht 1988

Herstellung und elektronenoptische Vermessung von mikromechanischen Eichnormalen für die Halbleitertechnik : Abschlußbericht zum Forschungsovrhaben ; Berichtszeitraum: 1.7.1987-3...

Veröffentlicht 1991

Reparatur von Röntgenmasken : Abschlußbericht ; Berichtszeitraum: 1.7.1985-31.3.1988 ; Contract NT-2686-T

Veröffentlicht 1988

Mikrostrukturierung, Mikromechanik für die Sensorik

von Heuberger, A.
Veröffentlicht 1988

Fortgeschrittene strahlunterstützte Ätzverfahren : Abschlußbericht zum Forschungsvorhaben ; Projektlaufzeit: 01.01.1988 - 31.12.1991

Veröffentlicht 1992

Entwicklung und Erprobung einer Maskentechnologie für die verkleinernde Ionenprojektion zur Herstellung von Strukturen im Bereich von 100 nm" : Abschlußbericht zum Forschungsvorh...

Veröffentlicht 1991

Abschlußbericht zum Verbundprojekt Entwicklung der Technologie monolithisch integrierter Beschleunigungssensoren auf der Basis von Siliziummikromechanik : Berichtszeitraum: 1.7.1...

Veröffentlicht 1989

Superconducting storage ring development at BESSY : new results from COSY ; invited talk given at the Ninth International Conference on Vacuum Ultraviolet Radiation Physics (VUV...

Veröffentlicht 1989

N-Kanal-MOSFET-Technologie mit Kanallängen kleiner 0.3 [my]m : Abschlußbericht ; Berichtszeitraum: 01.01.1987-30.04.1990

Veröffentlicht 1990