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    Abschlußbericht zum BMBF-Vorhaben: Grundlagen zum Hochrate-Plasmaätzen zur Veredelung von optischen Oberflächen, Teilvorhaben: Grundlagen und Technologien zum lokalen Hochrate-Plasmaätzen ; Laufzeit des Vorhabens/Berichtszeitraum: 01.11.1996 - 30.04.2000
    Veröffentlicht 2000
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  2. 2
    ON THE INTERACTION OF A MICROWAVE EXCITED OXYGEN PLASMA WITH A JET OF PRECURSOR MATERIAL FOR DEPOSITION APPLICATIONS
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  3. 3
    42nd EPS Conference on Plasma Physics (EPS 2015) : Lisbon, Portugal, 22-26 June 2015
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  4. 4
    Veröffentlicht 2016
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  5. 5
    Veröffentlicht 2016
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