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  1. 1
    von Ebest, Gunter
    Veröffentlicht 1977
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  2. 2
    von Ebest, Gunter
    Veröffentlicht 1977
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  3. 3
    von Ebest, Gunter
    Veröffentlicht 1977
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  4. 4
    Karl-Marx-Stadt, Techn. Hochsch., Diss., 1977
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  5. 5
    Multikristalline Silizium-Solarzellen auf der Basis von spin-on und RTP
    von Mrwa, Axel
    Veröffentlicht in Kristallisation und Technik (2002)
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  6. 6
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  7. 7
    Drastische Minderung der Oberflächenreflexion von multi- und sinkristallinem Silizium-Material durch RIE
    von Erler, Klaus
    Veröffentlicht in Kristallisation und Technik (2002)
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  8. 8
    Verbundvorhaben: Methoden- und Werkzeugentwicklung für den Mikrosystementwurf : Förderungsschwerpunkt Mikrosystemtechnik des Bundesministeriums für Bildung und Forschung ; Teilprojekt 2: Werkzeuge und Schnittstellen, Arbeitspaket 2.1: Beschreibung und Modellierung physikalischer Systeme ; Schlußbericht [des Arbeitspaketes 2.1 im Verbundvorhaben METEOR]
    Veröffentlicht 1997
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