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Atomic layer deposition applications 11

Veröffentlicht 2015

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Integrating Hf-based high-k gate stacks with polysilicon gates

von Gendt, S. De
Veröffentlicht in Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (64 : 2003 : Osaka) Handōtai, Shuseki-Kairo-Gijutsu-64.-Shinpojiumu-kōen-ronbunshū (2003)

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3

Atomic layer deposition applications 10

Veröffentlicht 2014

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