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Positionierung im Sub-Micrometerbereich durch Einleitung mechanischer Impulse

von Cermann, Christian
Veröffentlicht in Mechanical engineering from macro to nano (2005)

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2

Positionierung im Sub-Micrometerbereich durch Einleitung mechanischer Impulse

von Cermann, Christian
Veröffentlicht in Technische Universität Ilmenau. Fakultät für Maschinenbau Tagungsunterlagen (2005)

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