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    Abschlußbericht der CeramTec AG im Verbundvorhaben "Neue Keramik- und Dünnschichtwerkstoffe", Teilvorhaben: "Entwicklung neuer feinstrukturierter Substrateplatten aus Aluminiumoxidkeramik und Aluminiumnitridkeramik und deren Anpassung an den Verarbeitungsablauf in einer neuartigen Verfahrenslinie für miniaturisierte Dünnschichtsfunktionselemente" ; Zeitraum: 01.07.1996 bis 30.06.1999
    Veröffentlicht 1999
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    Kosten und Qualitätsoptimierung bei der Sinterung von AIN-Keramik : Abschlußbericht ; Berichtszeitraum: 1.10.96 - 1.2.1999 ; [5. Bericht]
    Veröffentlicht 1999
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