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    Silicon-on-insulator technology and devices 13 : [Thirteenth International Symposium on Silicon-on-Insulator Technology and Devices ... part of the 211th meeting of the Electrochemical Society, held on May 6 - 11, 2007, in Chicago, Illinois]
    Veröffentlicht 2007
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    Silicon-on-insulator technology and devices XII : proceedings of the international symposium ; [Twelfth International Symposium on Silicon-on-Insulator Technology and Devices was part of the 207th meeting of the Electrochemical Society, held May 15 - 20, 2005 in Quebec City, Canada]
    Veröffentlicht 2005
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  3. 3
    Materials aspects of x-ray lithography : symposium held April 12-14, 1993, San Francisco, California, U.S.A.
    Veröffentlicht 1993
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    Silicon-on-insulator technology and devices XII : proceedings of the international symposium ; [Twelfth International Symposium on Silicon-on-Insulator Technology and Devices was part of the 207th meeting of the Electrochemical Society, held May 15 - 20, 2005 in Quebec City, Canada]
    Veröffentlicht 2005
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  5. 5
    Veröffentlicht 1991
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  6. 6
    ULSI science and technology, 1993 : proceedings of the Fourth International Symposium on Ultra Large Scale Integration Science and Technology
    Veröffentlicht 1993
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