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    Abschlussbericht zum Teilvorhaben: "Evaluierung von Messequipment zur Erfassung zuverlässigkeitsrelevanter Parameter bei mechanisch schwingenden Mikrosystemen mit Membranstrukturen - MESSMEM" des Projektes: "Mess- und Prüftechnik zur Bestimmung von fertigungsrelevanten Parametern von Mikrosystemen auf Waferebene - PAR-TEST"
    von Bartuch, Herbert
    Veröffentlicht 2008
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    Impedimetrischer Sensor zur inline Analyse chemischer Prozesse in Mikroreaktoren
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    Mikroverweilzeitreaktor mit integriertem thermoelektrischen und impedimetrischen Sensor zur inline Prozessanalyse
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