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    Advances in chemical-mechanical polishing : symposium held April 13 - 15, 2004, San Francisco, California, U.S.A. ; [papers presented at Symposium K, held at the 2004 MRS spring meeting]
    Veröffentlicht 2004
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  2. 2
    von Boning, Duane S.
    Veröffentlicht 1991
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  3. 3
    Chemical-mechanical planarization : symposium held April 22 - 24, 2003, San Francisco, California, U.S.A. ; [papers presented at Symposium F, held at the 2003 MRS spring meeting]
    Veröffentlicht 2003
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  4. 4
    Design for manufacturability and statistical design : a constructive approach
    von Orshansky, Michael
    Veröffentlicht 2008
    Cover
    Kapitel 1
    Einführung/Vorwort
    Inhaltsverzeichnis
    Inhaltsverzeichnis
    Volltext
    Inhaltstext
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