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    Reflektierende verschleißgeschützte optische Schichten auf kohlenstoffaserverstärkten Kunststoffen für inertionsarme Optiksysteme (ROKKIO) : Abschlußbericht
    von Bernitzki, H.
    Veröffentlicht 1997
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    Erforschung von Systemlösungen für transparente Verschleißschutzschichten auf Kunststoffen für die Optik : Abschlußbericht zum F+E-Vorhaben 13 N 6253 über den Zeitraum vom 01.09.1993 bis 31.08.1996
    Veröffentlicht 1996
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    157 nm-Lithographie : Teilvorhaben: Grundlagenuntersuchungen zu Laserkomponenten und zum Strahlführungssystem für 157 nm Scanner ; Abschlussbericht für das F + E-Vorhaben 01M2995D
    von Bernitzki, H.
    Veröffentlicht 2006
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    Thema: OPUS I - Grundlagenuntersuchungen zu anwendungsorientierten reflektierenden und transmittierenden UV-Strahlführungs- und Strahlformungsoptiken : Teilvorhaben: Grundlagenuntersuchungen zu anwendungsorientierten transmittierenden UV-Optiken ; Abschlussbericht
    Veröffentlicht 2000
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    Laserbasierte Ultrapräzisionstechnik, 157 nm-Lithographie, Teilvorhaben: Grundlagenuntersuchungen zur Strahlführung : Abschlussbericht für das F+E-Vorhaben
    Veröffentlicht 2002
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