Konzepte für die Sicherung von Festigkeit und Zuverlässigkeit von Komponenten der Siliziummikromechanik

von BAGDAHN, J.
Veröffentlicht in 37. Tagung des DVM-Arbeitskreises Bruchvorgänge (2005)

Untersuchungen zum subkritischen Rißwachstum gebondeter Siliziumwafer

von BAGDAHN, J.
Veröffentlicht in Deutscher Verband für Materialforschung und -prüfung. Arbeitskreis Bruchvorgänge 30. Tagung des DVM-Arbeitskreises Bruchvorgänge, 17. und 18. Februar 1998 in Dresden (1998)