Treffer 1 - 12 von 12 für Suche 'Automation in Cleanroom GmbH', Suchdauer: 0,25s Treffer weiter einschränken
  1. 1
    Magazin für hohe optische Mikrosysteme: Teilvorhaben : Abschlußbericht zum Verbundprojekt In-situ-Meßverfahren für Mikrofabrikationstechniken, ISM u-FAB ; Laufzeit des Vorhabens: 01.04.95 bis 30.09.98
    Veröffentlicht 1999
    UnknownFormat

    Zu den Favoriten
    Gespeichert in:
  2. 2
    SMART FABRICATION "Iris" : Abschlussbericht ACR GmbH ; Laufzeit des Vorhabens: 01.01.97 - 30.06.99
    Veröffentlicht 1999
    UnknownFormat

    Zu den Favoriten
    Gespeichert in:
  3. 3
    Kontaminationsfreier und bruchtoleranter Transport von Siliziumscheiben durch eine Hochtemperaturzone : Abschlußbericht ; Akronym: KoTrans ; Laufzeit: 01.05.2000 - 31.05.2003
    Veröffentlicht 2003
    UnknownFormat

    Zu den Favoriten
    Gespeichert in:
  4. 4
    Verbundprojekt FAW-AUTOWEC-WEC "Wafer environmental control - WEC 3" ; Abschlußbericht Fördervorhaben JESSI-E109 ; Gesamtprojekt: FAW-P ; FAW-WEC 3 ; Berichtszeitraum: 1. April 1996 - 31. März 1997
    Veröffentlicht 1998
    UnknownFormat

    Zu den Favoriten
    Gespeichert in:
  5. 5
    Abschlussbericht zum BMBF-Projekt "Prozesse und Equipment für 300-mm-Wafer", Unterprojekt: 1.3 Materialfluß/Logistik: "Los-Identifikations- und Lagersystem (LILA)" und Unterprojekt: 1.5 FOUP-Management: "Front opening unified pod mit hoher Präzision, Lebensdauer und Stabilität (FOUP PLUS)" : Berichtszeitraum: 1. April 1998 bis 30. September 2000
    Veröffentlicht 2000
    UnknownFormat

    Zu den Favoriten
    Gespeichert in:
  6. 6
    Inline-Plasmaätzanlage für die Solarzellenfertigung, InPlas : Abschlußbericht ; Laufzeit: 01.04.2001 - 31.12.2003
    von Gentischer, Josef
    Veröffentlicht 2004
    UnknownFormat

    Zu den Favoriten
    Gespeichert in:
  7. 7
    Entwicklung einer innovativen Solarzellen-Messeinrichtung mit chromatisch durchstimmbaren Festkörperstrahlern für die verbesserte Qualitätskontrolle im Fertigungsprozess, Akronym: LFA : Abschlussbericht ; Laufzeit: 01.09.2001 -31.01.2004
    von Gentischer, Josef
    Veröffentlicht 2004
    UnknownFormat

    Zu den Favoriten
    Gespeichert in:
  8. 8
    Verbundprojekt FAW-AUTOWEC 2 : wafer environmental control ; Abschlußbericht Fördervorhaben JESSI-E 109 ; Gesamtprojekt: FAW-P ; Berichtszeitraum: 1. Januar 1995 - 31. März 1996
    Veröffentlicht 1996
    UnknownFormat

    Zu den Favoriten
    Gespeichert in:
  9. 9
    Projekt "Plasmaätzer von Photomasken" : Abschlußbericht ; Fördervorhaben JESSI E222 ; FAW-SUB-MASK ; Gesamtprojekt: FAW-P ; Berichtszeitraum: 1. Februar 1994 - 31. Dezember 1996
    Veröffentlicht 1998
    UnknownFormat

    Zu den Favoriten
    Gespeichert in:
  10. 10
    Abschlußbericht Fördervorhaben JESSI-T14 : Verbundprojekt FAW-T "Testplattform-FORTAUF", Gesamtprojekt: FAW-P ; Berichtszeitraum: 01. September 1994 - 31. März 1996
    Veröffentlicht 1997
    UnknownFormat

    Zu den Favoriten
    Gespeichert in:
  11. 11
    Verbundprojekt "Logistisches Zentrum zum Sortieren und Speichern von Halbleitersubstraten - LOCSS" : Abschlussbericht ; Gesamtprojekt: SMART FABRICATION ; Berichtszeitraum: 1. Juni 1996 - 31. März 1999
    Veröffentlicht 1999
    UnknownFormat

    Zu den Favoriten
    Gespeichert in:
  12. 12
    Verbundprojekt FAW-AUTOWEC-WEC "Wafer environmental control" ; Abschlußbericht Fördervorhaben JESSI-E109 ; Gesamtprojekt: FAW-P ; Berichtszeitraum: 01.Januar 1992 - 31.Dezember 1994
    Veröffentlicht 1996
    UnknownFormat

    Zu den Favoriten
    Gespeichert in:

Suchwerkzeuge: