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Group III-nitrides and 3C-SiC for micro- and nanoelectromechanical resonators

Veröffentlicht in Mechanical engineering from macro to nano (2005)

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Group III-nitrides and 3C-SiC for micro- and nanoelectromechanical resonators

Veröffentlicht in Technische Universität Ilmenau. Fakultät für Maschinenbau Tagungsunterlagen (2005)

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3

Pulsed mode operation of strained microelectromechanical resonators in air

Veröffentlicht in Applied physics letters (2006)

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