A Multilevel Interconnection with Plasma CVD Silicon Oxide/Bias Sputtered Quartz Stacked Interlayer Dielectrics

von Mase, Y.
Veröffentlicht in Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu (37. : 1989 : Tokio) Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Dai 37kai Shinpojiumu (1989)