Molecular Design and Syntheses of Ultra Tough Organic Low-k Dielectrics

von Aoi, N.
Veröffentlicht in Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (64 : 2003 : Osaka) Handōtai, Shuseki-Kairo-Gijutsu-64.-Shinpojiumu-kōen-ronbunshū (2003)

Porous SOG for Intermetal Dielectrics

von Aoi, N.
Veröffentlicht in Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (52 : 1997 : Osaka) 52. Handōtai Shuseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu Kōen Ronbunshū (1997)

Introduction of Quantum Functional Devices Project

von Aoi, N.
Veröffentlicht in Shinkinō Soshi Gijutsu Shimpojiumu (13. : 1994 : Tokio) Extended abstracts of 13th Symposium on Future Electron Devices (1992)

Evaluation and Analysis for Mechanical Strengths of Low-K Dielectrics

von Aoi, N.
Veröffentlicht in Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (60 : 2001 : Osaka) Handōtai, Shuseki-Kairo-Gijutsu-60.-Shinpojiumu-kōen-ronbunshū (2001)

Organic Low-k Dual Damscene Structure Fabricated by a Novel Clustered Hard Mask Processing

von Tamaoka, E.
Veröffentlicht in Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (56 : 1999 : Osaka) 56.-Handōtai-Shuseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu-kōen-ronbunshū (1999)

Electron Cyclotron Resonance Plasma Doping

von Mizuno, B.
Veröffentlicht in Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu (34. : 1988 : Tokio) Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Dai 34kai Shinpojiumu (1987)