Preparation of SiOF Films with Low Dielectric Constsnt by ECR Plasma CVD

von Fukada, T.
Veröffentlicht in Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (48 : 1995 : Tokio) 48. Handōtai Shuseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu Kōen Ronbunshū (1995)

Improvement in Mechanical Performance of Biomaterial Ti Alloy by Controlling Volume Fraction of Martensite Phase

von Akahori, T.
Veröffentlicht in International Conference on Processing and Manufacturing of Advanced Materials: Processing, Fabrication, Properties, Applications (11. : 2021 : Wien) THERMEC 2021 ; Part 1 (2021)

Ti, TiN Films Formation Using ECR Plasma CVD

von Akahori, T.
Veröffentlicht in Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu (44. : 1993 : Tokio) Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Dai 44kai Shinpojiumu (1993)

TiN Film Formation by Using ECR Plasma CVD

von Akahori, T.
Veröffentlicht in Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu (42. : 1992 : Tokio) Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Dai 42kai Shinpojiumu (1991)